“精度”這個術語的正確含義，是指實際值接近給定值（或理論值）的程度。工程中使用的數值是表示實際值與給定值之間的偏差，即“不精確度”。所以，在定量地評價機床的精度時，常使用的是“偏差”和“誤差”、“公差”等術語。例如，在討論數控沖床的定位精度時，實際所給出的定位更大偏差0.03mm（公差帶寬度表示法）和定位偏差±0.015mrn（測量偏差表示）。在實際工作中常常引用如下一些精度術語和概念：
  1、測量精度是指數控沖床測量系統的精度。它包括測量基準的誤差、測量系統的誤差以及讀數誤差等。
  2、控制系統定位精度是指伺服驅動系統和測量系統配合工作時沿坐標軸方向某一點相對另一點進行定位的精度（以更大偏差衡量）。它除了包括測量精度外，主要表示伺服系統準確執行定位指令的能力。伺服系統元件開關時間和動作起停c包括正、反、換向）時間的波動，都會引起控制系統實際定位點的分散。
  3、重復定位精度（或重復精度）  是指數控沖床滑板位置的可重復性。重復定位精度主要由伺服系統和機床進給系統的性能所決定，例如，伺服元件開關特性、進給部件的間隙、剛性和摩擦特性等。一般情況下，重復定位精度是成正態分布的偶然性誤差，即在相同條件下，需在某一點定位時的預計離散程度作為其重復精度。
  4、數控沖床滑板定位精度是指測量系統、伺服系統和機床進給系統綜合作用而達到的定位精度。實際上它是測量精度和重復定位精度的綜合，或者說是控制系統定位精度再加上機床進給系統（間隙和彈性變形造成的誤差）的影響。
  5、數控沖床幾何精度是指機床各部件工作表面的幾何形狀及相互位置接近正確幾何基準的程度。對于多坐標數控沖床而言，各導軌面的直線度和平行度將引起各個坐標軸的相應角度變化，即顛擺、搖擺和滾擺。
  6、數控沖床定位精度是指機床在規定的加工空間范圍內進行定位的精度，以可能出現的更大定位偏差表示。換句話說，機床定位精度是指按照允許輸入的位移指令進行定位時可能產生的更大偏差。機床定位精度包括測量系統、伺服系統、滑板進給系統以及各機,床部件相互幾何關系的影響。
  7、機床定位穩定性，亦稱機床定位再現性是指在相當長的時間內保持機床定位精度的能力，它反映了環境溫度、機床溫度、外加載荷重量和機床磨損等因素的變化對機床定位精度的影響。
  8、機床精度是指機床在規定的條件（主要是溫度條件）工作時所能達到的機床定位精度。
   上述八項指標都是靜態的（即在運動停止后進行測定的），這對各種數控機床都適用。但對于輪廓控制的機床，還要考核輪廓跟隨精度，這是一項動態精度，反映在運動過程中。
  9、輪廓跟隨精度是指實際運動軌跡接近于程序給定軌跡的程度。它影響著輪廓的加工精度，與伺服系統的速度放大系數、驅動時間常數、運動速度、輪廓切線方向變化率等素有關。
  10、機床加工精度（或稱加工精度）  是指機床上加工的工件所達到的精度。它不僅取決于上述各種機床精度指標，而且還與夾具、刀具和工件本身的誤差有關。